對於圖像測(cè)量儀的測(cè)量(liàng)誤差分析,來關注了解一下
圖像測量儀是近年來基於計算機視覺檢測技術的新型*精密測(cè)量儀,廣泛應用於(yú)機械製造、電子、汽車、航(háng)空航天等行(háng)業。可用於在線檢測(cè)元件的尺寸、形狀和相互位置,以(yǐ)及光刻集成電路的劃線、定心孔(kǒng)、對準等。由於其通用性強、測量範圍大、精度高、性能好、實時性強,並能與柔性製造係(xì)統連接,所以得到了廣泛的應用(yòng)。
1.圖像測量儀的組成
圖像測量是將被測物體的(de)圖像視為檢測和信息傳輸的測量方法。其目的是從圖像中提取有用的信號,並基於圖(tú)像分析和識(shí)別對其進行測量。圖像是指物體發光和反射光的視覺印象。由於計算機隻能處理(lǐ)數字信息,圖(tú)像不(bú)能直接由計算機處理。在被計算機處理之前,圖像必(bì)須被轉換(huàn)成數字圖(tú)像,也就是數字化(huà)。因此,一個典型的圖像測量係統主要由六部分組成:光(guāng)源、機(jī)器、CCD攝像頭、圖像采集卡、運動控製係統和PC,如下圖所示。通(tōng)過各(gè)部分的組合,可(kě)以完成不同環境下的高精度圖像檢測任務。

圖像測量儀的測量過程(chéng)如下圖所(suǒ)示。首先將待測工件(jiàn)放在工作台上,啟動運動控製程序,通過運動控製卡控製X、Y、Z軸的運動,使(shǐ)其到達合適的位置,將待測工件的圖像清(qīng)晰地呈現在CCD上。電荷耦合器件將獲得的光信號轉換成電信號,然後通過圖像采集卡將待測物體的圖像采集到PC機上。然後通過圖像處理技術(shù)、空間幾何運算、運動控製和(hé)光柵數據采(cǎi)集運算,得到(dào)被測物(wù)體的幾(jǐ)何尺寸和待測(cè)物理量的檢測。*後由測量軟(ruǎn)件完成測量工作,獲得所需參數完(wán)成測量工作。
圖像測量過程
2.測量誤差分(fèn)析:
圖像測量儀的測量誤差是指圖像測量儀本身的固(gù)有誤差。儀器引起的誤(wù)差很多,在儀器的設計、製造(zào)和使(shǐ)用的各個階段都(dōu)可能出現(xiàn)誤差,分別稱為測量儀器的原理誤差、製造誤差和操作誤差。
2.1原理錯誤
圖像測量儀的原理(lǐ)誤差有:CCD攝像機畸變引起的誤差和不同測量(liàng)方法引起的誤差。相機的製(zhì)造和工藝,入射光通過各(gè)個鏡頭時的折射誤差和光(guāng)盤(pán)點陣的位(wèi)置誤差等。,光學(xué)係(xì)統存在非線性幾何畸變,使得目(mù)標像點與理論像點之間(jiān)存在多種類型(xíng)的幾何畸變,如徑向畸變、偏心畸變、薄棱鏡畸變等。徑向畸變大,切向畸變和(hé)薄棱鏡畸變小,圖像中心區域畸變小,邊緣(yuán)畸變大。使用高質量的鏡頭可以減少畸變誤差的影響,但在精密測量中需(xū)要考慮畸變的影響來校正測量結果。
不同測量方法引起的(de)誤(wù)差主要(yào)是指不同圖像處理技術引起的識別和量化誤差。圖像的邊緣是圖像的基本特征,是物體輪(lún)廓(kuò)或物體不同表麵之間的界麵(miàn)在圖像中的反(fǎn)映(yìng)。邊緣輪(lún)廓是人類識別物體形狀(zhuàng)的重(chóng)要因素,也是圖像處理中的重要處理對(duì)象。在圖像處理過程中,需要進行邊(biān)緣提取,在(zài)數字圖像處理技術(shù)中有許多不同的邊緣提取方法。選擇不同的提取方法* *會極大地改變同一被測件的邊緣位置,因此會對*終的測量結果產生影響。例如,測量圓形工件的半徑和中心時,當圓的輪廓改變時,其半徑值和中心(xīn)位置也會相應(yīng)改變。因此,在圖像處(chù)理過程中,圖像(xiàng)處理算法對儀器的測量精度有著非常(cháng)重要的影響,是圖像測量(liàng)的重點。
2.2製造誤差
圖像測量儀的製造誤(wù)差有:導向機構引起的誤差、安裝誤差等。導向機構引起的誤差主要是(shì)圖像(xiàng)測量儀機構誤差中的直線運動定位誤差。圖像測量(liàng)儀(yí)是一種正交坐標測量儀。正交坐標係測量儀有三個相互垂直的(de)軸,即X軸(zhóu)、Y軸和Z軸,三個運動部件沿著這三個軸運動,使(shǐ)CCD相對於被測工件做三維直線運動。選(xuǎn)擇高質量的運動導向(xiàng)機構可以減少這種誤差的影響。安裝誤(wù)差主要在於攝像頭與工作台(tái)的相對關係,如圖(tú)3所示。當測量平台與CCD相機的鏡頭呈一定角度h時,根據幾何知識可以得到誤差公式如下:

D =L(1- cosH)
攝像機安裝錯誤示意圖
如果圖像測量儀(yí)的測量平台水平性能和CCD攝像頭的安裝都很出色,那麽它們(men)之間的夾角在範圍之(zhī)內,誤差很小。
2.3操作錯誤
圖(tú)像測量儀器的操作誤差有:測量環境和條件變化(如溫度變化、電(diàn)壓波動(dòng)、光照條件變化、機構磨損等)引起(qǐ)的誤差。),以及(jí)動態(tài)錯誤。由於溫度的變化,圖像測量儀各部件的尺寸、形狀、相互位置以及一些重要的(de)特征參數都發生了變化,從而影響了該儀器的精度。溫(wēn)度變化也可能(néng)導致電氣(qì)參數和儀器(qì)特性的變化,導致溫度靈敏度漂移和(hé)溫度零點漂移。並且電壓和光照(zhào)條件的變化會影響圖像測量儀上下光源(yuán)燈的亮度,導致係統光(guāng)照不均勻,從而在采集的圖(tú)像邊緣留下陰影,造成圖像邊緣提取錯誤。磨損會導致圖像測量儀零件(jiàn)的尺(chǐ)寸、形(xíng)狀(zhuàng)和位置出現誤差,增加配合間隙,降低該儀器工作精度的穩定性(xìng)。因此,測量操作條件的改善可以(yǐ)有效降低這(zhè)種誤差的影響。
 
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